使用四點探針臺,機臺的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數固定,當探頭的探針點在基板上時, 附有內藏彈簧的探針會將四根針同時收縮,在固定的下壓應力使測量的穩定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.在制程改進方面只要將V/I這個數值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它系數做太復雜的演算.可以選購奕葉的軟件使操作簡單化及自動化,適用于半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產業。
一、規格
l?探針間距：40mil，62.5 mil
l?探針壓力：80g
l?探針材質：BeCu
Tungsten Carbide
l?高溫選配：High Temp.
200 ℃ ??
l?卡盤尺寸可選擇：6英寸、8英寸、12英寸；
l?材料：特氟龍
l?探針升降長度：10毫米
l?探針臺Z軸升降精度為：1微米
l?探針材質：碳化鎢、鈹銅合金
l?探針距離：40mil、50mil、62.5mil
l?彈簧探針力度：45grams、85grams、180grams
l?探針直徑：40.6微米?
l?尺寸：220mm長x420mm寬x250mm高
l?重量：20Kg
二、特點
l?可垂直上下移動
l?特殊恒定負載的彈簧探針
l?恒定的探針間距
l?可保持極大程度的重復性測試
l?探頭方便更換
l?探針臺頂部可調整Z軸移動
l?穩固的連接線在探針臺后面
l?轉接頭可選擇：Banana/ BNC/ Triaxial Female
l?卡盤可快速移動
l?可以配合加熱吸盤使用
l?卡盤尺寸可以選擇：6英寸、8英寸、12英寸
l?氣動的SR-4可用開關控制升降
三、應用
l?薄膜偏電阻?Sheet
Resistivity
l?體積偏電阻?Volume
Resistivity
l?導電率Doping
Quality
l?金屬膜厚Metalization
Thickness
l?P/N極性P/N Typing
l?電流電壓I-V特性 V/I Measurement
四、其他高級應用
l?高阻低電流
l?溫度環境下量測RT~200℃
l?超高溫RT~1200 ℃
l?無氧環境下
l?微小間距最小10 micron
l?大面積尺寸基板1200mm×900mm
l?儀器結合軟件
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