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我們的XUV/VUV光譜儀具有像差校正的平場波長覆蓋范圍從1nm到200nm。寬帶光譜測量可以通過覆蓋1-20nm、5-80nm和40-200nm的三個光柵實現。光譜儀可以在沒有入口狹縫的情況下使用，以最大限度地收集光源距離范圍內的光。它的模塊化設計能夠匹配不同的實驗幾何形狀和配置。它具有一個集成的狹縫夾和過濾器插入單元，以及一個電動光柵定位。
特點：
- 平場入射光柵光譜
- 單光柵波長范圍覆蓋5-80nm
- 也可以選擇1-5nm光譜
- 三種不同的幾何結構
- 不同的探測器選擇：X-ray CCD相機或MCP錐形光纖
- 工作氣壓<10-6mbar,也可以提供無油氣泵的獨立真空系統
| Wavelength [nm] | 1-10 | 3-20 | 5-40 | 10-60 | 25-80 | 40-200 |
| Operation mode | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less |
| Source distance [m] | flexible | flexible | flexible | flexible | flexible | flexible |
| Flat-field size [mm] | 35 | 45 | 21 | 50 | 50 | 100 |
| Dispersion [nm/mm] | 0.2 – 0.35 | 0.3 – 0.4 | 0.5 – 0.65 | 0.7 – 1.1 | 0.9 – 1.3 | ≈ 2.0 |
| Resolution [nm] | < 0.03 | < 0.035 | < 0.06 | < 0.09 | < 0.11 | < 0.15 |
* Other configurations (spectral range, slit operation, high-resolution, etc) available upon request.
定制：
每一個光譜儀都是定制的，完全符合所需的應用，例如。
- 與實驗室的接口
- 源距自適應
- 集成客戶提供的探測器
- 用戶定義的過濾器安裝
下面的圖像可以證明XUV光譜儀的測量能量。它展現的是濾波后的單發飛秒激光脈沖的高次諧波譜。上面的圖顯示了x-ray CCD探測到的原始影像，而下面的圖顯示的是柱條疊加后的諧波圖譜。這個過程都由XUV光譜儀自動完成。
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